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분사사 소식[이큐베스텍]
글쓴이 관리자 (IP: *.118.114.2) 작성일 2004-12-27 조회수 4,247
이큐베스텍 기업부설연구소 설립 인정!!

이큐베스텍(대표:남종현 www.eqbestech.com)은 지난 11월 24일

기업부설연구소가 과학기술부장관(권한위탁:한국산업기술진흥협회장)의 인정을
받음으로써 연구개발 및 각종 세제 지원 등 본격적 활동에
들어갔다.
반도체 웨이퍼를 가공하기 위한 플라즈마를 발생시키는데 필요한 전원을 공급해
주는 RF Generator장치 둥을 개발하기
위한 보다 효율적인 환경을 조성하기 위해
설립된 이 연구소는 해외에서 수입에 의존하고 있는 제품의 수입 대체 및 신기술로
인해
Sputtering 방식을 대체하여 가격적인 우위를 점할 수 있게 되어 벤처기업으
로서의 경쟁력을 한층 끌어올릴 수 있게 되었다.

연구소는 RF Matcher 개발, RF Generator 개발, Microwave Generator
개발, 장비제어용 각종
Board류(FAB/TEST),반도체장비 Refurbishment,기초
기술강화, 신제품 개발 및 기술교육을 관장하고 있으며, 총 13명의
연구전담요원
으로 이루어져 있다.
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