반도체 장비는 기계공학, 전기 및 전자공학, 제어공학, 광학, 소재 공학 등 첨단기술의 집약체이다. 

반도체 장비는 메인 프레임에 가열 장치, 플라즈마 장치, 가스 및 케미컬 공급 장치, 반송 장치, 진공 장치 등 여러 종류의 핵심 모듈로 구성되어
있다.

이 책은 반도체 장비를 구성하는 핵심 모듈의 종류와 기능, 동작 원리 및 이들 모듈을 구성하는 부품의 종류와 기능, 동작원리를 이해하는데 도움이 되고자 제작하였다. 반도체 장비는 지속적으로 발전하고 있지만 반도체 장비의 요소기술의 원리는 기본적으로 동일하다.
이 책을 통하여 반도체 장비 요소기술의 기본을 이해 하는데 많은 도움이 되었으면 한다.

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